차세대 유리기판 생태계 연계 강화
글래스기판·복합동박 장비 기업 태성은 유리기판 TGV(Through Glass Via) 공정 전문 기업 JWMT(구 중우엠텍)로부터 TGV 글래스 후공정용 화학 공정 장비 발주를 수주했다고 26일 밝혔다.
회사 측에 따르면 이번에 공급되는 장비는 기존 에칭 설비 개념을 넘어 레이저 분리 이후 글래스 패널을 완전 분리하고 분리 단면의 화학적 힐링을 통해 강도와 신뢰성을 동시에 확보하는 TGV 글래스 화학적 화학적 힐링 ＆ 싱귤레이터(TGV Glass Chemical Healing ＆ Singulator) 장비다.
해당 장비는 원장 글래스에서 다수의 패널을 분리하는 TGV 후공정 단계에 적용되며 고농도 불산(HF)을 활용해 단면 미세 크랙을 완화하고 모서리 라운딩(Rounding)을 형성한다. 기존 물리적 브레이킹 방식 대비 품질 안정성과 공정 신뢰성을 크게 개선한 것이 특징이다.
JWMT는 TGV 기반 유리기판 양산 공정 기술을 보유한 전문 기업으로 최근 유리기판 관련 공정 고도화 및 적용 영역 확대를 추진하고 있는 것으로 알려져 있다. 이번 후공정 장비 도입 역시 차세대 유리기판 공정 신뢰성 확보를 위한 핵심 공정 기술 강화 차원에서 이뤄졌다는 평가다.
태성은 그동안 TGV 전공정 영역인 세정·에칭 장비를 중심으로 기술 경쟁력을 축적해 왔다. 이번 JWMT 발주를 계기로 TGV 후공정 영역까지 공정 대응 범위를 확대하게 됐다.
또 태성은 이번 공급과 연계해 TGV 후공정에서 CMP전 수직 회전형 하프 에칭 장비에 대한 기술 검증 및 시연도 병행하고 있다. 해당 장비는 향후 유리기판 후공정 공정 전반으로의 확장을 염두에 둔 전략적 기술 대응의 일환으로 추진되고 있다.
태성 관계자는 "이번 공급은 당사가 기존 전공정 중심의 TGV 장비 대응에서 나아가 후공정 영역까지 기술 범위를 확장했다는 점에서 의미가 크다"며 "유리기판 공정 전반을 아우르는 장비 기술력을 지속적으로 강화해 차세대 패키징 및 첨단 기판 산업에서 경쟁력을 확대해 나갈 계획"이라고 밝혔다.
