LG실트론서 혼합 물질 40∼60L… 8시간 방제작업, 일부 조업중단
2일 오후 8시 34분 구미 국가산업단지 2단지 내 반도체 웨이퍼 제조업체인 ㈜LG실트론 구미 2공장에서 불산'질산'초산이 혼합된 화학물질인 혼산이 누출돼 당국이 조사를 벌이고 있다.
이날 사고는 2일 오전 10시 30분쯤 혼산을 필터링하는 필터 덮개에서 균열이 발견돼 이날 오후 6시 30분쯤 이를 교체하고 시험 운전을 거친 뒤 혼산을 넣고 가동을 하는 과정에서 발생했다.
LG실트론은 3일 "구미 2공장 생산 B동에서 반도체 재료인 웨이퍼의 표면을 매끄럽게 하는 에칭(etching) 공정에 사용되는 혼산을 필터링하는 필터 덮개(하우징 커버)에서 균열이 발생해 혼산 40∼60ℓ가 공장 바닥으로 유출됐다"며 "사고현장에 11명의 작업자가 있었지만 혼산과 작업자를 차단하는 안전차단막이 있어 인명피해는 없었으며, 혼산이 외부 유출되지도 않았다"고 밝혔다.
LG실트론에 따르면 회사 내 자체 방제팀은 사고가 발생하자 모든 작업을 중단하고 소석회 등 중화제로 혼산을 중화시킨 뒤 흡착포를 이용해 혼산 누출액을 회수해 처리하는 방식으로 3일 오전 4시 30분쯤 방제작업을 완료했다. 이날 유출된 혼산은 질산 55%, 초산 24%, 불산 21%를 함유하고 있으며, 외부 전문업체가 LG실트론에 납품한 것으로 알려졌다.
구미경찰서와 구미소방서 등은 업체와 작업 관계자 등을 상대로 정확한 사고경위를 조사하고 있다. 고용노동부 구미지청도 사고원인과 피해상황이 밝혀질 때까지 LG실트론 구미 2공장의 일부 조업을 중단하도록 했다.
LG실트론 한시재 전무는 "방재시스템이 갖춰진 공간에서 소량이 유출돼 자체적으로 충분히 방재할 수 있었으며, 인적'재산 피해가 없어 대구지방환경청과 경북도 등에는 3일 오전 1시쯤 신고했다"며 "대구지방환경청이 공장 내외부 3곳에서 불산 농도를 측정한 결과 불산은 검출되지 않았다"고 설명했다.
구미'이창희기자 lch888@msnet.co.kr
구미'전병용기자 yong126@msnet.co.kr
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